Abstract
提供一種微機電共振器的主動式溫度補償方法，包含以下步驟：提供一微機電共振器，微機電共振器之結構阻值隨環境溫度而變化；提供一電路電性連接微機電共振器，且電路提供一回饋調整機制至微機電共振器；環境溫度產生變化，令微機電共振器之結構阻值產生變化，且產生一結構阻值變化量；回饋調整機制提供一補償值，用以控制結構阻值變化量。其中，藉由控制結構阻值變化量，進而修正微機電共振器隨環境溫度變化產生之共振頻率偏移誤差量。
- Title
- 微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器
- Creators - without role
- 昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系陳政吉昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957788050806774
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I538396
- Date application
- 20/05/2013