Abstract
本發明提出一種微機電共振器，其利用差動式壓阻感測技術，使此微機電共振器傳遞一訊號。此微機電共振器利用互補式金屬氧化層半導體(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,CMOS)製程使其起振元件及壓阻元件達到電子絕緣，藉此降低饋通訊號(feedthrough signal)。
- Title
- 微機電共振器及其訊號處理方法以及製造方法
- Creators - without role
- 昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系李承勳昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787513706774
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I519066
- Date application
- 28/06/2012