Abstract
本發明係一種微機電共振震盪子結構及其驅動方法。隨著微機電共振震盪子結構之功率處理能力和有效剛性之間的線性關係，驅動電極位於一樑式共振震盪子的等效高剛性區域相比在等效低剛性區域可提供更穩定的訊號輸出。然後一個使用樑式微機電共振震盪子結構為中心之設計已成功地證明在頻率9.7 MHz狀況下，等效高剛性區域驅動相較於等效低剛性區域驅動可提高功率處理能力和相位噪聲性能改善。
- Title
- 微機電共振震盪子結構及其驅動方法
- Creators - without role
- 昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系李承勳侯立人昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787628706774
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I511916
- Date application
- 28/06/2012