Abstract
本發明提供一種微結構的製作方法，包含一準備步驟，及一熱壓印步驟，是先準備一由矽構成並具有一底部及一形成在該底部上的第一微結構的模板，該第一微結構具有複數由該底部向遠離該底部方向延伸且間隔排列的奈米針，且任兩相鄰之奈米針的最大距離不大於40nm，再準備一由高分子材料構成之基材，將該基材加熱到不大於該高分子材料之熱裂解溫度的條件下，將該模板以具有該等奈米針的表面壓掣該基材，令該基材形成一具有一第二微結構及一基部的基板，以完成該微結構的製作方法。
- Title
- 微結構的製作方法
- Creators - without role
- 健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系健中 洪 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系黃彬謝健
- Identifiers
- 9957787683006774
- Academic Unit
- Department of Power Mechanical Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I396659
- Date application
- 11/02/2010