Abstract
本發明為一種濺鍍多元合金靶材製作方法，係以無電鍍法披覆一上部材料於靶材的底部材料之上，再以車削的方式將上部材料做部分去除，而讓底部材料顯露出來，藉由控制濺鍍最有效率區中上部材料與底部材料之顯露面積的比率，而掌握濺鍍多元合金中各元素所佔的比例;由於無電鍍法之製作方法適合大量生產，又不會使靶材結晶化，且只需使用一支濺鍍槍即可完成濺鍍多元合金的過程，因此可以大幅降低成本。
- Title
- 濺鍍多元合金靶材製作方法
- Creators - without role
- 財團法人工業技術研究院杜正恭陳永逸彭珮君張英展
- Identifiers
- 9957788030206774
- Academic Unit
- National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- 467962; 148058
- Date application
- 10/05/2000