Abstract
一種用於輕元素薄膜的三維影像重建方法及系統中，處理器根據由STEM在薄膜樣品處於不同角度下拍攝的原始投影影像進行有關於除噪、視場修正和背景扣除的預處理後所獲得的多個二維影像和多個參考影像執行多次的三維影像重建程序，在每次的程序中該等二維影像經過校準處理和在倒空間的多次迭代演算而獲得有關於受測區域的對應的三維重建影像資料，除了第一次以外的每一次程序中所用的參考影像是從前一次程序所獲得的三維重建影像資料擷取出，並根據最後一次程序獲得的三維重建影像資料生成該受測區域的三維重建影像，以供顯示模組顯示。