Abstract
一種用於電子顯微鏡的測試樣品，包含一承載基板、一待測物，及一保護層。該待測物設置於該承載基板上，該保護層由非晶形的氧化鋁構成，披覆於該待測物上且厚度不大於5nm。本發明利用該保護層披覆於該待測物上，避免該待測物在電子顯微鏡的檢測中因受到電子束的照射而毀損，亦減少積碳效應的發生。且該電子束的電子在非晶形的保護層中行進時，不會產生晶格繞射而不會對該待測物的分析及成像造成影響。此外，本發明還提供該測試樣品的製作方法。
- Title
- 用於電子顯微鏡的測試樣品及其製作方法
- Translated title
- Test Specimen For Electron Microscope And Manufacturing Method Thereof
- Creators - without role
- 國立清華大學陳健群彭裕庭
- Identifiers
- 9957788065006774
- Academic Unit
- Department of Engineering and System Science, College of Nuclear Science, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I752679; I752679
- Date application
- 20/10/2020