Abstract
本發明揭露一種石墨烯製備系統及方法，相異於先前技術利用單一供氣循環來對工件進行各氣體之輸送，本發明提出了一種在沉積過程中，藉由間斷式重覆調整輸入氣體之輸入量，得以多循環供氣來有效降低石墨烯之片電阻值之方法。
- Title
- 石墨烯製備系統及方法
- Creators - without role
- 博文 邱 - 國立清華大學電機資訊學院電機工程學系葉昭輝博文 邱 - 國立清華大學電機資訊學院電機工程學系
- Identifiers
- 9957787737906774
- Academic Unit
- Institute of Electronics Engineering, College of Electrical Engineering and Computer Science, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I 505986
- Date application
- 10/01/2013