摘要
本發明揭露一種石墨烯製備系統及方法，相異於先前技術利用單一供氣循環來對工件進行各氣體之輸送，本發明提出了一種在沉積過程中，藉由間斷式重覆調整輸入氣體之輸入量，得以多循環供氣來有效降低石墨烯之片電阻值之方法。
- 題名
- 石墨烯製備系統及方法
- 翻譯題名
- A Graphene Manufacturing System And The Method Thereof
- 創作者：
- 國立清華大學 (專利申請人)葉昭輝 (發明人)博文 邱 (發明人) - 國立清華大學電機資訊學院電機工程學系
- 申請國別
- TWN
- 學術資源類型
- 專利
- 專利
- I505986
- 申請號
- 102100842
- 申請日期
- 10/01/2013
- 出版日期
- 16/07/2014
- 發行日期
- 01/11/2015
- 語言
- 繁體中文