Abstract
本發明揭露一種石墨烯製備系統及方法，相異於先前技術需於工作腔內或工件上備有一金屬箔以作為碳原子的催化劑，本發明係利用一由工作腔外輸入的催化劑粒子並經由加熱以對通入工作腔的碳料進行裂解並沉積，以使石墨烯得以直接地生成於絕緣工件之表面。藉此，本發明得以一相對便宜的催化金屬溶液來做為本發明的催化粒子來源而無需利用相對昂價的銅箔，直接的減少了石墨烯的製作成本，進而解決了石墨烯製作成本過高的問題。
- Title
- 石墨烯製備系統及方法
- Creators - without role
- 博文 邱 - 國立清華大學電機資訊學院電機工程學系呂俊頡鄧博元博文 邱 - 國立清華大學電機資訊學院電機工程學系
- Identifiers
- 9957787824606774
- Academic Unit
- Institute of Electronics Engineering, College of Electrical Engineering and Computer Science, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I457277
- Date application
- 10/08/2012