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磁性合金的序化方法
Patent

磁性合金的序化方法

志煌 賴, 施文傑, 王良瑋, 吳允中 and 志煌 賴
21/02/2015

Abstract

一種磁性合金的序化方法包含:(a)提供熱吸收底層;(b)在熱吸收底層上形成熱阻障底層;(c)在熱阻障底層上形成含非序化合金的磁性層,非序化合金具第一、二金屬,第一金屬是Fe、Co或Ni,第二金屬是Pt或Pd;及(d)直接對熱吸收底層施予快速熱退火使熱吸收底層迅速吸收熱能並產生一增加的體積膨脹量,從而令磁性層因增加的體積膨脹量而具一平面拉伸應力,以使非序化合金藉該平面拉伸應力轉變成一序化相。非序化合金具有熔點Tm。步驟(d)的升溫速率足以使序化相體積比率於一退火溫度Ta下在一預定時間達到0.70以上,且Ta≦0.45Tm。

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