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磁性記錄裝置的製造方法
Patent

磁性記錄裝置的製造方法

志煌 賴, 楊政翰 and 志煌 賴
11/07/2008

Abstract

一種磁性記錄裝置的製造方法,是先依序在基材上形;成底層與磁性記錄層,再以氦離子佈植於磁性記錄層之一;第一區域區域,使第一區域中的多數原子規則排列而成為;一序化區域,並同時可以非磁性元素離子佈植於磁性記錄;層之一第二區域,使第二區域中成為一非磁區域。本發明;以離子佈植之直接能量轉換方式而無須後退火製程,即可;使磁性記錄層形成多數間隔排列之非磁區域區與獨立的序;化區域,且有效地降低鐵鉑合金之序化溫度,進而增加記;錄儲存密度。此外,由於離子束具有可聚焦特性或是結合;光罩的方式,可進行記錄媒體規則圖案之直接繪製

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