Abstract
本發明提供一種薄膜太陽能電池的製作方法，包含一步驟(a)在一第一電極單元上覆蓋一吸收層；一步驟(b)使該吸收層在一未含有錯合劑的混合溶液中，於一反應溫度下實施一化學浴沉積法以形成一第一緩衝層；一步驟(c)在該第一緩衝層上形成一第二緩衝層；一步驟(d)在該第二緩衝層上形成一透明導電層；一步驟(e)在該透明導電層上形成一第二電極單元，以製得一薄膜太陽能電池。該步驟(b)之混合溶液含有一包括一含有硫的前驅物的第一溶液，及一包括一含有鋅的前驅物的第二溶液，該第一溶液或該第二溶液具有一足以令該薄膜太陽能電池的光電轉換效率不小於5%的濃度。