Abstract
一種製作薄膜太陽能電池的製程，主要是在高溫中濺鍍形成照光時產生光電流的化合物薄膜，或以多段式濺鍍方式形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜，進而製作出薄膜太陽能電池，由於高溫濺鍍可以成長出大晶粒的柱狀晶化合物薄膜，而，多段式濺鍍方式則能形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜，所以製作出的薄膜太陽能電池具有極高的效率，此外，濺鍍製程可以直接整合入目前業界的生產製程，而可以大面積大規模地量產。本發明還提供適用的靶材。
- Title
- 製作薄膜太陽能電池之靶材、製程及其產品
- Creators - without role
- 志煌 賴 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系陳家庠陳奕璋志煌 賴 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Identifiers
- 9957787929106774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I418048
- Date application
- 25/09/2009