Abstract
本發明是在提供一種製備過渡金屬硫族化物之方法，其可於攝氏150至500度的基板溫度以及25至760托耳的製程環境下生產過渡金屬硫族化物。且本發明採用的硫族元素來源是採用加熱硫族固體源並對其離子化的方式以取得硫族元素電漿，所以在本發明中可避免去使用習知製備過渡金屬硫族化物技術中的劇毒硫化氫氣體。
- Title
- 製備過渡金屬硫族化物之方法
- Creators - without role
- 郁倫 闕 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系顏文群陳雨澤蘇登瑜李建廣麥迪納郁倫 闕 - 國立清華大學工學院材料科學工程學系
- Identifiers
- 9957787808306774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I551539
- Date application
- 30/09/2015