Abstract
本發明係有關於一種製備量子點元件之裝置，係配合形成一量子點層於一基板上，包括：一反應室，提供一蒸鍍或濺鍍反應，以沈積電極層或緩衝層於基板上；一基板支撐座，位於反應室內部固定基板；以及一具有一氣體進料口與一樣品輸入口之霧化噴嘴，其中樣品輸入口傳送一具有複數個官能化量子點之前置溶液進入該霧化噴嘴，以產生包含量子點粒子之液滴，用以形成量子點層於基板上。本發明可形成量子點均勻分佈之量子點層，且將形成量子點層、緩衝層、電極層之製程整合於同一反應室內，大幅提高材料性質。
- Title
- 製備量子點元件之裝置
- Creators - without role
- 財團法人工業技術研究院陳學仕羅大倫張國揚陳建明
- Identifiers
- 9957787811506774
- Academic Unit
- Department of Materials Science and Engineering, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I278899; I278899
- Date application
- 23/08/2004