Abstract
本發明係揭露一種超低功率熱致動振盪器及其驅動電路，超低功率熱致動振盪器包含質量塊、熱致動元件及複數個驅動件。質量塊為對稱配置且由彈簧結構懸空連接於基板上。熱致動元件為線結構以有效減低運動阻抗和降低直流功率，其中，熱致動元件與質量塊或彈簧結構相連接。複數個驅動件則分別設置在熱致動元件兩側以提供驅動電流。當驅動電流流經熱致動元件時，使熱致動元件產生變形，以驅動質量塊產生振盪。
- Title
- 超低功率熱致動振盪器及其驅動電路
- Creators - without role
- 昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系李冠賢陳政吉昇憲 李 - 國立清華大學工學院動力機械工程學系
- Identifiers
- 9957787879806774
- Academic Unit
- Institute of NanoEngineering and Microsystems, College of Engineering, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I569571
- Date application
- 25/06/2015