Abstract
一種電磁波真空窗，其包含一具有第一、第二、第三及第四反射邊界之電磁波真空窗；以及一填充於第二與第三反射邊界間之石英玻璃，使該電磁波真空窗之第一~第四反射邊界內存在至少兩個共振頻率，且共振頻率之頻寬交疊程度係隨著石英玻璃厚度增加而變高。藉此，可作為電子迴旋共振電漿機台與微波電漿設備之使用，而達到具有良好之頻寬、可調整石英玻璃之尺寸與厚度、避免元件過熱，以及降低成本之功效。
- Title
- 電磁波真空窗
- Creators - without role
- 國防部軍備局中山科學研究院黃重鈞張存續于仁斌陳朝治胡起雯陳振瑋陳乃慶
- Identifiers
- 9957787870106774
- Academic Unit
- Department of Physics, College of Science, National Tsing Hua University
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Patent
- Patent
- I431656; I431656
- Date application
- 30/11/2011