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榮譽

2023未來科技獎
國家科學及技術委員會, 2023
傑出研究獎
科技部Ministry of Science and Technology, 2018
傑出研究獎
科技部Ministry of Science and Technology, 2017
傑出研究獎
科技部Ministry of Science and Technology, 2016
清華講座
國立清華大學National Tsing Hua University, 2016
傑出產學研究獎
國立清華大學, 2016
Kyoto Prize Nominator
Inamori Foundation, 2016
績效卓著獎 - MG+4C 產學計畫 (智慧電子國家型科技計畫)
行政院國家科學委員會, 2015
傑出研究獎
科技部Ministry of Science and Technology, 2015
傑出產學獎
國立清華大學工學院, 2015
MEMS Industry Contribution Award
SEMI, 2015
IEEE Fellow
IEEE (美國電機電子工程學會), 2015
傑出研究獎
行政院國家科學委員會National Science Council, Executive Yuan, 2013
傑出學術研究出版獎勵
工學院; 國立清華大學, 2013
Kyoto Prize Nominator
Inamori Foundation, 2013
傑出研究獎
行政院國家科學委員會National Science Council, Executive Yuan, 2012
英國物理學會會士
英國物理學會(IOP); 工學院, 2012
國際電機電子工程師學會會士
國際電機電子工程師學會(IEEE); 工學院, 2012
特聘教授
國立清華大學National Tsing Hua University, 2012
傑出學術研究出版獎勵
國立清華大學; 工學院, 2012
第七屆會士
中華民國力學學會Society of Theoretical and Applied Mechanics of the Republic of China, 2012
傑出研究獎
行政院國家科學委員會National Science Council, Executive Yuan; 工學院, 2011
傑出學術研究出版獎勵
工學院; 國立清華大學, 2011
傑出產學合作獎
國立清華大學工學院, 2011
傑出產學合作獎
國立清華大學, 2011
微奈米科技獎章
中華民國奈微系統科技協會, 2011
傑出研究獎
行政院國家科學委員會National Science Council, Executive Yuan, 2010
Outstanding MEMS Academic Award
SEMI, 2010
第3屆傑出產學合作獎
國立清華大學, 2008
傑出教學獎
國立清華大學工學院, 2002

研究單位

教授, 半導體研究學院

教授, 動力機械工程學系

教授, 奈米工程與微系統研究所

經歷

特聘教授, 動力機械工程學系, 2012 – 2016

教授, 研究發展處奈微與材料科技中心, 2007 – 2021

所長, 奈米工程與微系統研究所, 2002 – 2003

副教授, 動力機械工程學系, 1996 – 2003

學歷

美國卡內基美隆大學機械系
08/199005/1995, 博士/Doctoral